Menurut bahasa, istilah tazkiyat An-Nafs berasal dari bahasa Arab yang terdiri dari dua kata, yaitu Tazkiyah dan Al-Nafs. Tazkiyah berasal kata zakk, yang berarti penyucian, pembersihan. Sedangkan pengertian Al-Nafs adalah jiwa, yaitu jiwa yang bersifat latf (lembut), rhn (immateril, abstrak) dan rabbni. Jiwa seperti inilah yang menjadi essensi manusia. Jadi, secara etimologi, tazkiyah al-nafs bermakna "penyucian jiwa."
